扫描电机参数：TC12 mm 

非线性度:<3.5 mrad/44 

1%满行程阶跃响应时间：＜0.7ms 

跟踪误差时间：0.3 ms 

增益漂移：＜80 PPM/K

零点漂移：<20 µrad/°C

重复精度：<20µrad

(预热30分钟后）老化漂移（8H）：<0.5mrad

打标速度：3000 mm/s

定位速度：8 m/s

扫描角度：±0.35 rad

分辨率：40 µrad

镜片型号：10600nm

电源要求：±15 VDC,max 2 A each

通光孔径：7.0mm 

工作温度：25℃±10°℃