非线性度：< 3.5 mrad / 44°

1%满行程阶跃响应时间：≤ 0.60 ms

跟踪误差时间：0.26 ms

增益漂移：< 80 PPM / K

零点漂移：< 20 μRad / °C

长期漂移（预热30分钟后，8小时内）：< 0.4 mRad

重复精度：< 20 μRad

典型扫描角度：± 0.35 rad

定位分辨率：40 μRad

镜片规格（反射波长）：10600 nm

电源要求：±15 VDC,max 2 A each

通光孔径：5 mm

工作温度：25 °C ± 10 °C