点阵CO₂激光设备的点阵治疗手具，通常配有一个圆形“距离规”，用于贴合皮肤，确保治疗时皮肤表面处于激光焦点位置。该手具的常见焦距为 50 mm。

CO₂激光作用于皮肤微小光斑时，水分子吸收激光能量并瞬间汽化，治疗即刻可见组织发白，同时伴随蛋白质灼烧产生的烟气和“焦糊”气味。因此，治疗过程中必须配备排烟设施，操作者应佩戴口罩。

在点阵CO₂激光治疗中，即使激光位于焦点处，它仍是一个具有微小直径的光斑，因此具有一定照射面积，并决定治疗后皮肤的“覆盖率”。

该微小光斑直径约为0.1mm。不同波长的激光，其焦点光斑直径不同：波长越短，焦点光斑直径越小。在如此细小的直径范围内，激光能量密度极高。照射点皮肤微小体积内的部分水分被瞬间汽化，蛋白质发生热变性，部分结构断裂；在能量更高的中心区域，组织可能呈飞絮状剥离脱落，从而实现破坏与剥脱效果。